技术指标：
名 称 | 技术指标 |
结构 | 材料：304；立式；前开门；双层：Φ600×800mm |
极限真空度优于 | 9×10-5 Pa |
工作真空度 | 1×10-1～10（氩气） |
保真空 | 停机12小时≤10 Pa |
真空系统 | 分子泵/扩散泵+罗茨泵+直联机械泵+真空阀门 |
多弧靶 | 柱弧源、圆弧源 |
靶挡板 | 4～10个 |
多弧电源 | 4～10台 |
脉冲偏压电源 | 1台 |
真空测量 | 三路（两低一高） |
质量流量控制 | 四路 |
工件转动 | 公转与自传独立控制，可调速，定位控制 |
工装 | 4轴、6轴、8轴、10轴任选 |
温度控制 | 温度室温～350度（或450度） |
控制系统 | 人机界面+PLC |
电气元件 | 空开、接触器、继电器、端子 |
冷却水系统 | 冷水机+管道+阀门+流量保护 |
空压机系统 | 空压机+管道+油水分离+阀门 |
客服1 
客服2