技术指标
1、水含量小于1ppm； 氧含量小于1ppm。
2、过渡舱可承受：真空度≥100pa。
3、密闭性：泄漏率≤0.05Vol%/h。
配置清单
箱体 | 机架 | 工具过渡舱 | 物料过渡舱 | 搁物架 | 可视面板 |
手套孔 | 手套 | 电源插座 | 照明系统 | HEPA过滤器 | 真空表 |
压力表 | 脚踏控制器 | 气体净化系统 | PLC控制系统 | 有机气体吸附器 | 真空泵 |
水传感仪 | 氧传感仪 | 压力传感仪 | 加热系统 | 冷冻系统 | 其他选配 |
成都齐兴真空镀膜技术有限公司
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