联系我们 | 更多分站 您好，欢迎访问成都齐兴真空镀膜技术有限公司网站！
咨询热线13032829558
微信在线客服
产品中心
联系我们Contact us
全国咨询热线13032829558

成都齐兴真空镀膜技术有限公司

公司地址：成都高新区高朋大道5号

联系电话：028-85023912

公司邮箱：changxin7820865@163.com

您的位置：首页>>产品中心>>磁控溅射镀膜技术与设备>>超高真空多功能镀膜
超高真空多功能镀膜

超高真空多功能镀膜机成都齐兴

适用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀金属、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其它化学反应膜。可用于多种薄膜材料的物理化学性能研究实验、集成电路半导体器件的原理研究实验、有机无机功能薄膜研究及太阳能电池研究实验等。

工作模式：可以采用单靶独立、多靶轮流或组合共溅工作模式，向心溅射。

超高真空密封主要采用如下技术：玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等、运动部件的密封，采用磁力耦合传动密封技术。

系统自动监控和保护功能强，包括缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。

项  目

技术指标

极限真空度优

优于2.0×10-5Pa

工艺腔体动态真空

优于3.0×10-4Pa

工作真空度

1×10-1～10

漏率

停机12小时真空度≤10 Pa

磁控溅射靶（英寸）

Ø1～Ф4英寸

样品台

Ф4英寸，数量1个

真空测量

三路

质量流量控制

四路

室体

单室

镀膜室+样品室

工件转动

自传，可调速，定位控制


在线咨询全国热线
028-85023912

项  目

技术要求

结构

立式-前开门，上开门，钟罩

镀膜方式

直流、射频、中频磁控溅射

腔体数

1个

腔体材料

304不锈钢，双层水冷

腔体尺寸

Φ500 mm×H450mm

工位数

4个工位

传输方式

磁流体传动，数量2个

传输速度

公转结构，自转结构，独立控制

参数设定

温度，时间，气体分压，速度，均可调整

机架材质

碳钢喷塑

观察窗数

2个

脉冲磁控溅射电源

数量4个

脉冲偏压电源

数量1个

真空系统

分子泵+直联泵+真空阀门+管道

控制系统

人机界面+PLC

供电电源

3N，220V/380V，50Hz


本文标签：

相关服务 / service

地区产品 / city

相关产品 / product

相关新闻 / news

快速导航
联系我们

公司地址：成都高新区高朋大道5号

联系电话：028-85023912

联系手机：13032829558

公司邮箱：changxin7820865@163.com

  • 扫一扫添加微信

  • 进入手机官网

Copyright © 成都齐兴真空镀膜技术有限公司 版权所有 备案号：蜀ICP备2021020464号-1
在线客服
联系方式

热线电话

13032829558

上班时间

周一到周五

公司电话

028-85023912

二维码
在线客服