真空泵及有关术语

真空泵及有关术语
1.1、真空泵 vacuum pumps 产生、改善和（或）维持真空的装置。基本上分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。

1.2、容积真空泵 positive displacement pump：容积真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的装置。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。

1.3、气镇真空泵 gas ballast vacuum pump：泵工作中，经气镇阀放入适量的非可凝性气体到泵的压缩室，以降低被抽气体中可凝性蒸汽在泵内凝结程度的容积真空泵。4.1.1.6～4.1.1.10的容积真空泵均可装气镇装置。

1.4、油封（液封）真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump：利用油类密封各运动部件间的间隙和减少压缩室有害空间的旋转容积真空泵。

1.5、干封真空泵 dry-sealed vacuum pump：不用油类（或液体）密封的容积真空泵。

1.6、往复真空泵 piston vacuum pump：利用泵腔内活塞往复运动，将气体压缩并排出的容积真空泵。

1.7、液环真空泵 liquid ring vacuum pump：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水）抛向泵壳并形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的旋转容积真空泵。

1.8、旋片真空泵 sliding vane rotary vacuum pump：转子偏心的装在泵壳内并同泵壳内表面固定面相切，在转子内装有二个（或二个以上）旋片，当转子旋转时滑片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，将泵腔分为几个可变容积的旋转容积真空泵。

1.9、定片真空泵 rotary piston vacuum pump：在泵壳内装有一个与泵壳内壁相接触的偏心转子，泵壳上装有一片始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时滑片上、下滑动将泵腔分成两个可变容积的旋转容积真空泵。

1.10、滑阀真空泵 rotary plunger vacuum pump：在偏心转子外有一滑阀环，转子旋转时带动滑阀环沿泵壳内壁滑动和滚动，固定在滑阀环上的滑阀杆能在装于泵壳适当位置可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积的旋转容积真空泵。

1.11、余摆线真空泵 trochoidal vacuum pump：在泵壳内，偏心装有一个余摆线型转子，它沿泵壳内壁滑动并将泵腔分成两个可变容积的容积真空泵。

1.12、多室旋片真空泵 multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump：在一个泵壳中并联装有由同一电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

1.13、罗茨真空泵 roots vacuum pump：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形转子，转子间，转子同泵壳内壁保持一定的间隙的旋转容积真空泵。

 1.14、动量传输泵 kinetic vacuum pump：高速旋转的叶片或射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断的从入口传输到出口的真空泵。

1.15、牵引分子泵molecular drag pump：气体分子与高速转动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口的一种动量传输泵。

 1.16、涡轮分子泵turbo molecular pump：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子对应的圆盘间旋转。转子圆周的线速度和气体分子速度是相同的量级的，泵通常在分子流条件下工作。

 1.17、喷射真空泵ejector vacuum pump：利用文丘里（venturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出中的一种动量传输泵。喷射真空泵适于粘滞流和过渡流条件下工作。

1.18、液体喷射真空泵liquid jet vacuum pump：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。

 1.19、气体喷射真空泵gas jet vacuum pump：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

 1.20、蒸汽喷射真空泵vapor jet vacuum pump ：以蒸汽（水、油、汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。

1.21、扩散泵diffusion pump ：以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的气体动量传输泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是低的。这种泵适于分子流条件下工作。 1.22、自净化扩散泵self purifying diffusion pump：泵液中的易挥发杂质经专门的机构输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。

1.23、分馏扩散泵 fractionating diffusion pump ：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压力较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压力较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴中的一种多级油扩散泵。

 1.24、扩散喷射泵diffusion ejector pump ：有扩散泵特性的单级或多级喷嘴和具有喷射泵特性的单级或多级喷嘴组成的动量传达室输泵。

1.25、离子传输泵ion transfer pump：被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。

1.26、捕集真空泵 entrapment vacuum pump：气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵。

1.27、吸附泵adsorption pump：主要用具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的捕集真空泵。

1.28、吸气剂泵 getter pump：用吸气剂以化学结合方式捕获气体的捕集真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。

1.29、升华（蒸发）泵 sublimation (evaporation)pump ：一种用间断或连续方式升华（蒸发）吸气材料以达到抽气目的的捕集真空泵。

1.30、吸气剂离子泵getter ion pump：被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的泵内表面上的捕集真空泵。

1.31、蒸发离子泵 evaporation ion pump ：泵内被电离气体传输到以间断或连续方式升华或蒸发而覆在泵内壁的吸气材料上而被吸附的一种吸气离子泵。

1.32、溅射离子泵sputter ion pump ：泵内电离的气体，被吸附在由阴极连续溅散出来的吸气材料上的吸气剂离子泵。

1.33、低温泵cryopump：利用低温表面捕集气体的真空泵。